扩散泵/真空备品配件
控温控压,PLC全自动控制。
一键启动,抽真空,充气,加热,控温控压,射频电源开启。
通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗目的。
真空度可以达到1×10-1 Pa
加热温度≤200 ℃
温度误差±3℃